Новый класс фоторезистов ЭКО

Новый класс фоторезистов ЭКО

Фоторезисты класса ЭКО обеспечивают:

  • Сохранение здоровья персонала.
  • Улучшения экологии на предприятии.
  • Соответствие международным экологическим нормам.
Наименование фоторезиста Технические условия
ФП-25-эко 2378-004-29135749-2007
ФП-2550-эко 20.59.12-019-18567185-2018
ФП-201-эко 20.59.12-022-18567185-2018
ФП-383-эко 2378-005-29135749-2007
ФП-9120-эко 2378-015-29135749-2015

ИСПОЛЬЗУЙТЕ ФОТОРЕЗИСТЫ КЛАССА ЭКО

plak

Фоторезисты класса ЭКО не содержат опасное вещество — N,N – ДИМЕТИЛФОРМАМИД

Выдержка из сертификата безопасности на N,N – ДИМЕТИЛФОРМАМИД

MSDS РАЗДЕЛ 3: ВОЗМОЖНЫЕ ОСТРЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ЗДОРОВЬЕ:
МУТАГЕННЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ: является мутагеном для соматических клеток млекопитающих
ТЕРАТОГЕННОЕ ДЕЙСТВИЕ: воздействует на эмбриональное развитие плода. Классифицируется как токсин для репродуктивной женской системы и возможно для репродуктивной мужской системы.
N,N-ДИМЕТИЛФОРМАМИД является ядом для крови, почек, печени, центральной нервной системы.

plak

Фоторезисты класса ЭКО не содержат опасное вещество — 1,4-Диоксан

Выдержка из сертификата безопасности на 1,4-Диоксан

MSDS РАЗДЕЛ 3: ВОЗМОЖНЫЕ ОСТРЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ЗДОРОВЬЕ:
МУТАГЕННЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ: является мутагеном для соматических клеток млекопитающих.
КАНЦЕРОГЕННЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ: класс А3 проверено на животных.
1,4-ДИОКСАН может быть токсичен для крови, почек, печени, центральной нервной системы.

plak

Фоторезисты класса ЭКО не содержат опасное вещество — ФЕНОЛ

Выдержка из сертификата безопасности на ФЕНОЛ

MSDS РАЗДЕЛ 3: ВОЗМОЖНЫЕ ОСТРЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ЗДОРОВЬЕ:
МУТАГЕННЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ: данное вещество может вызывать генетические нарушения.
ФЕНОЛ: Вызывает серьезное повреждение глаз. Может вызывать повреждение органов при длительном или неоднократном воздействии.

Фоторезисты ФП-2550 и ФП2550 экстра

Фоторезист ФП-2550 (ТУ 20.59.12-019-18567185-2018)

Область применения:Толстослойный фоторезист ФП-2550 предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых интегральных приборов и микросхем с глубинным травлением германия и кремния, а также для гальванического осаждения металлов.

No Характеристики Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-коричневого цвета
2 Разрешающая способность, мкм, не более 20,0
3 Толщина пленки фоторезиста, мкм 5÷7
4 Кинематическая вязкость при (20±2)0С, сСт 52÷75
5 Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, не менее, мин 7,0
6 Уровень фильрации, мкм 0,5
7 Рекомендуемый проявитель УПФ-1Б
8 Рекомендуемый сниматель СПР-01Ф
9 Гарантийный срок хранения, мес 6

Паспорт безопасности
ТУ на ФП-2550 в формате PDF

Фоторезист ФП-2550 экстра (ТУ 20.59.12-021-18567185-2018)

Область применения: Высокая степень очистки компонентов фоторезиста ФП-2550 экстра позволяет использовать его в процессах производства полупроводниковых структур, где к качеству и надежности предъявляются особые требования. Гарантийный срок хранения фоторезиста ФП-2550 экстра в два раза выше, чем у фоторезиста ФП-2550.

No Характеристики Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-коричневого цвета
2 Внешний вид пленки фоторезиста Гладкая, без разрывов20,0
3 Разрешающая способность, мкм, не более 10,0
4 Толщина пленки фоторезиста, мкм 5÷8
5 Кинематическая вязкость при (20±2)0С, сСт 150÷260
6 Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, не менее, мин 30,0
7 Уровень фильрации, мкм 0,5
8 Содержание примесей металлов, % 10 -4
9 Рекомендуемый проявитель УПФ-1Б, П-217А-МФ
10 Рекомендуемый сниматель СПР-01Ф
11 Гарантийный срок хранения, мес 12

Отечественные аналоги импортных фоторезистов

Марка импортного материала Отечественный аналог Суммарное содержание примесей металлов, ppm
Фоторезист AZ-5214 ФПН-20-ИЗО <1
Фоторезист AZ-1505 ФП-2506 <1
Фоторезист AZ-1512HS ФП-2514 <1
Фоторезист AZ-1518 ФП-2520 <1
Фоторезист AZ 4533 ФП-2538 <1
Фоторезист Microposit S1805 ФП-3506 <1
Фоторезист Microposit S1811 ФП-3513 <1
Фоторезист Microposit S1813 SP15 ФП-3515 <1
Фоторезист Microposit S1815 ФП-3517 <1
Фоторезист Microposit S1818 SP16 ФП-3520 <1
Фоторезист Microposit S1828 G2 ФП-3535 <1

Пролистать наверх