Манометрические пребразователи
Манометрические пребразователи предназначены для преобразования давления в электрический сигнал.
Вакуумметры
Цифровые вакуумметры для измерения низкого и высокого вакуума в вакуумных установках различного назначения.
Типовой пример модернизации установок, оснащенных лампами ПМТ-6, ПМТ-4 и ПМИ-2: комплект из трех ВТРЦ , одного ВМЦ и контроллера БУКВА. Функции: сбор данных с цифровых вакуумметров, отображение измеренных значений на экране, программируемые блокировки. Цифровой интерфейс RS-485, протокол ModBUS RTU. Возможно подключение цифровых регуляторов расхода газа (РРГ-12) с функцией стабилизацией расхода по давлению в рабочей камере.
Использование ионных источников обеспечивает надежное травление (очистку) подложек, высокую адгезию материала и структурное совершенство напыляемых пленок.
Ионные источники с холодным катодом производства ООО «ЛВТ+» относятся к классу ускорителей с анодным слоем (УАС). Отличаются простотой и удобством в эксплуатации и высокой надежностью. Выдерживают более 10 лет интенсивной эксплуатации. Процессы перезарядки быстрых ионов позволяют использовать данные ионные источники без катодов-компенсаторов, что упрощает эксплуатацию. Ионные источники типа УАС могут работать в высоковольтном режиме, также возможен сильноточный режим. Выпускаются две конфигурации: круглые, с трубчатым пучком, и протяженные, у которых есть значительный линейный участок.
Задачи, решаемые при помощи данных источников:
- ионно-лучевое распыление (работа с небольшими дорогостоящими мишенями),
- ионное ассистирование при напылении,
- ионное травление подложек.
Использование ионных источников обеспечивает надежное травление (очистку) подложек, высокую адгезию материала и структурное совершенство напыляемых пленок.
Дуговые испарители
Генераторы плазмы
Радиочастотные генераторы плазмы серии РПГ предназначены для создания плазмы высокой плотности в вакуумных технологических установках промышленного и научно-исследовательского назначения. Подробнее…